30 дек 2022 879

«Росэлектроника» разработала технологию получения высокочистых газов для производства микроэлектроники

Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработал технологии для получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, необходимых для производства современной микроэлектронной продукции. Это позволит заменить импортные материалы и создать высокотехнологичные изделия, необходимые на рынке микроэлектроники.

Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных - фтор, трехфтористый азот или бор. Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий

– исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко.

НПП «Салют» создало уникальные технологии для производства различных газов, необходимых для микроэлектронной отрасли, включая моносилан, арсин, фосфин, аммиак и два вида бора.

Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства

— генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.

Чтобы сохранить степень чистоты материалов пришлось разработать отдельное решение. Специальная подготовка баллоно, предложенная специалистами НПП «Салют», позволяет сохранять сверхчистый газ от 6 до 12 месяцев.